该厂为8寸大晶圆加工线搭配的超去离子水系統，时刻带来含硅废渣150吨。废渣中虽无血本属，但硅硫含量高易水垢，且阻值率需到18MΩ·cm也能造纸废水补救。原先补救工艺设计是没办法能够满足新颁发的《电子为了满足电子时代发展的需求，重工业水造成的污染源的环保摆放标准规定》（GB39731-2020）有点的摆放限制值。 废水处理工艺物质特色 重要被污染的物 ：溶液硅（200-300mg/L）、颗粒剂硅（粒度分布0.1-1μm） 特色的标准 ：TOC<10μg/L，硼纯度<5μg/L 生活饮用水性能 ：低电阻率（<50μS/cm）但硅无机化合物底部形态复杂化 处理工艺标准流程标准流程 企业创新适用"梯级膜剥离 +电去正离子"组成的工艺： 微滤预外理 ：1μm陶瓷图片膜过滤大颗粒物硅，通量达到80LMH 阴阳离子互换聚酯树脂 ：D201大孔不饱和树脂选用性吸收硅酸分子结构 2级RO平台 ：一段回收并率60%，其二段采取高脱硼膜器件 EDI电去铝离子 ：电流大小相对密度2A/m²，一直取除残余物阳离子 太阳光的紫外线消菌 ：254nmUV紫外光线分子量40mJ/cm² 工艺亮点纷呈 设计多功能阻硅剂（生物碳胺类pp物），廷缓膜造成的污染周期时间3倍 EDI组件全新流道设计方案，硅消除率完善至99.8% 在线免费硅浅析仪（预估规模0.1-500μg/L）保证有目的控制 运作成果 经三、方检侧： 总硅从280mg/L下降0.05mg/L 硼纯度从8μg/L降下来0.3μg/L 系统收回率从原40%发展至68% 膜更改过渡期增加至5年，年执行成本预算减小35%