该晶圆制作厂地属苏北地段,基本分娩8屏幕尺寸光电器件晶圆,每日污废水 废气总量下跌约800吨。因分娩过程中 中选用巨大氢佛酸做出晶圆蚀刻,促使污废水 中氟化物密度高达独角兽200-300mg/L,远超我国废气废气规则(10mg/L左右)。
废液的成分及來源
废液主要的源自八个的环节:
晶圆蚀刻繁琐流程
:含高溶度氟化物(HF)、硝酸钠及大量巨资属
化学上的机械化增加光泽(CMP)废水处理工艺
:含微米级硅粒状、有机质络合剂
设备难以清理废液
:含异丙醇、高锰酸盐指数等充分物
进行处理工序流程图
用于"化工积淀+水泥混凝土积淀+高度脱水"三级职业资格证书除理体统:
1阶段加工处理
:添加氯化钙和氢被氧化钙,出现氟化钙沉垫,氟化物避开率达85%
三级操作
:生成PAC(汇聚氯化铝)和PAM(聚丙酰胺),清除电解质溶液态感染物
一级加工处理
:经由多导电介质过虑器和活性酶类炭粘附,满水后氟化物氧化还原电位不稳在8mg/L一些
重要的环保设备还有:pH主动控制整体、斜管沉积池、板框压泥机(生活污水脱水怎么办)。
后面成效
工作开机运行两年统计资料监测统计资料显视:
氟化物平均值有机废气浓度:7.2mg/L(低过我国标准的)
COD除掉率:92%
飞灰含水量率:≤65%
年收废氟化钙副货品约150吨,实现了能源化使用