某半导体设备厂在生产销售步骤中采用硝酸钠系成像液,出现高渗透压含NOx废液,日正确产泥量50吨。废液中含NO2-独角兽高达2000mg/L,且带有轻微有机肥料光刻胶有效成分,正确操作困难程度较多。
2. 废液物质及从何而来
显影液生产工艺电镀废水(一般被空气污染物)
晶圆洗掉废气
印刷废气清洗塔排出污水
3. 解决技术生产流程图
使用"最高级空气氧化+两极动物清理"去创新技艺:
O3钝化
:能够二氧化的碳发现器生产O3,将难化学降解有机会物吸附为小大分子有机物,一同将NO2-氧化的为NO3-。
生物技术膜响应器(MBR)
:
首要级:乏氧的环境下加药甲醇充当碳源,提高网站反反硝化细菌发应
第十二级:好氧生物制品膜进两步生物降解氮化合物物
分析化学反应程度工作
:进行钛基铝层探针,进行电解法帮助切底转换多余水排放物。
4. 既定实际效果
NOx总氮降下来8mg/L这
COD稳定的在30mg/L之内
电镀废水工业废水处理率达60%
程序电脑运行能耗管理在3.5kWh/吨水,较传统式加工过程节省20%。