的项目视频背景
某大一些的半导体材料加工公司主地属长江三角洲形的地方,重点出产晶圆和基带芯片。在出产的时候中,晶圆切工和打磨抛光阶段中,形成丰富碾磨液污废水 ,平均弄脏物量约50吨。可能污废水 中具有高氧化还原电位飘浮物、黑色金属亚铁离子及生产修改剂,随便弄脏物会对生活环境产生比较严重弄脏,公司主人们非常建成专注净化处理场地设施。
废水处理工艺成份及起源
研磨抛光剂液污废水 重要来源地于晶圆鑫霖环保中的电学机械装备抛光剂(CMP)生产工艺,重要污染问题物是指:
浮动粒状物
:二腐蚀反应硅、腐蚀反应铝等碾磨粉末,孔径在0.1-1μm,浓硫酸浓度可高达2000mg/L。
不锈钢正离子
:铜、铁、锌等,出于打磨垫变形及晶圆从表面合金层,铜阳离子渗透压约50mg/L。
有机的修改剂
:涉及表面能可溶性剂、缓蚀阻垢剂等,COD值在800-1200mg/L。
耐酸pH成分
:pH值浮动大,常见在2-11两者之间。
净化处理新工艺注意事项
涉及废渣功能,选取“前补救+血生化+深度的补救”组合起来加工:
可以调节池
:多样化饮用水水流量,生成碱酸改善pH至中性粒细胞。
混泥土沉淀出的
:加药PAC(汇聚氯化铝)和PAM(高密度聚乙烯酰胺),的还原悬停物和氢氧化铁,沉降后SS的还原率>90%。
崔化硫化
:所采用Fenton免疫试剂(H₂O₂+Fe²⁺)光降解有机肥料加上剂,COD洗去率达60%。
菌物处置
:MBR膜生态学反应迟钝器进一部化学降解所剩设计物,COD低于100mg/L以内。
正离子交換
:常用光敏树脂吸附剂铜阴阳离子,冒水铜硫含量<0.5mg/L。
砂滤+生物炭过虑
:确认冒水清辙,做到《脏水总体排放物原则》(GB8978-1996)一級原则。
结果结果
系統执行平衡后:
SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜铝离子<0.3mg/L。
造纸化工废水处理率达40%,剩的考核标准排放物物,年少化工废水排放物物1.20万吨。
治疗成本费用约15元/吨,远不超业内的平均。